品名	英文名	分子式	级别
			SL	UL	VL(CMOS)	EL
甲醇	Methanol	CH3OH		■	■	■
乙醇	Ethanol	C2H5OH	■	■	■	■
异丙醇	IPA	CH3CHOHCH3	■	■	■	■
丙酮	Acetone	(CH3)2CO	■	■	■	■
醋酸丁酯	n-Butyl Acetate	C6H12O2		■	■	■
甲苯	Toluene	C6H5CH3			■	■
二甲苯	Xylenes	C8H10				■
三氯乙烯	Trichloroethylene	C2HCl3		■	■	■
环已烷	Cyclohexane	C6H12			■	■
N-甲基吡咯烷酮	N-methyl-2-pyrrolidinone	CH3N(CH2)3CO		■	■	■
丙二醇单甲醚	PGME	PGME		■	■	■
丙二醇单甲醚醋酸酯	PGMEA	PGMEA		■	■	■

● EL级：优于美国SEME C1标准，控制1μm颗粒，控制十多个金属元素，单项金属元素控制在100PPb。
● VL级：介于EL与UL之间，控制0.5μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10~100PPb。
● UL级：等同于美国SEME C7标准，控制0.5、0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10PPb以下。
● SL级：等同于美国SEME C8标准，控制0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在1PPb以下。