品名	英文名	分子式	级别
			SL	UL	VL(CMOS)	EL
过氧化氢	Hydrogen Peroxide,30%	H2O2	■	■	■	■
硫酸	Sulfuric Acid	H2SO4	■	■	■	■
盐酸	Hydrochloric Acid	HCL	■	■	■	■
硝酸	Nitric Acid,70%	HNO3	■	■	■	■
发烟硝酸	Nitric Acid Fuming	HNO3			■	■
磷酸	Phosphoric Acid	H3PO4	■	■	■	■
氢氟酸	Hydrofluoric Acid	HF		■	■	■
冰乙酸	Acetic Acid,Glacial	CH3COOH	■	■	■	■
氨水	Ammonium Hydroxide	NH3·H2O	■	■	■	■
氟化铵	Ammonium Fluoride,40%	NH4F	■	■	■	■
氢氧化钾溶液	Potassium Hydroxide Liquid	KOH				■
C-400胆碱清洗剂	Choline Hydroxide	C5H15NO2		■	■	■
氢氧化钠溶液	Sodium Hydroxide Liquid	NaOH				■

● EL级：优于美国SEME C1标准，控制1μm颗粒，控制十多个金属元素，单项金属元素控制在100PPb。
● VL级：介于EL与UL之间，控制0.5μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10~100PPb。
● UL级：等同于美国SEME C7标准，控制0.5、0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10PPb以下。
● SL级：等同于美国SEME C8标准，控制0.3μm颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在1PPb以下。